【要闻】中科院突破5nm光刻技术垄断？事实残酷却又是把双刃剑

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(记者陈洲)近半年来，中国科学院“突破asml垄断”、“没有euv光刻机就能制造5nm芯片”的消息炸毁了新媒体圈。 但是，情况真的是这样吗？ 《财经》从媒体最近的报道中揭示了事实真相:今年7月，中国科学院苏州所联合国家纳米中心在《纳米快报》上发表了题为“超分辨率激光光刻技术制造5纳米间隙电极和阵列”的研究论文，该团队开发了该研究论文 这篇论文的通信作者博士生导师刘前特别强调“没有euv光刻机就能制造5nm芯片”是误读，超分辨率激光光刻技术和极紫外光光刻技术是两回事。 中国科学院开发的5nm超高精度激光光刻加工方法的第一用途是制作光掩模。 因为现在国内制作的掩膜板主要是中低端的，装备材料和技术大多来自海外 据消息，网民开始热情冷却，这是一把双刃剑，另一方面，5nm芯片设备的干扰肘依然存在。 另一方面，至少我们在5nm相关的光刻行业前进了一步，证明了不能一下子吃胖子，可以脚踏实地在5g时代做100%的国产芯片。 “中国科学院突破5nm技术”的新闻自网络热议年7月以来，引用了“中国科学院突破5nm技术打破euv光刻机垄断”的话题印刷爆网络，据相关新闻报道，中国科学院论文最新的“5纳米超高” 连续几个月，这件事在新媒体上引起了话题 这篇论文于年7月发表，之后刊登在国际知名期刊《纳米通信》( nano letters )上 根据中国科学院当时发送的软文原稿，研究小组比较了激光微纳米加工中遇到的实际问题，处理了效率和高精度之间的固有矛盾，开发出的新型微纳米加工技术有集成电路、光子芯片、微机电系统 青岛大学信息网于去年7月10日与中国科学院苏州纳米技术和纳米仿生研究所的张子昕研究员、国家纳米中心刘前研究员和青岛大学物理科学学院讲师夏峰合作，在nano letters (纳米速报)上， 发表了名为5nmnanogapelectrodesandarraysbyasuper-resolutionlaserlithography的研究论文，报告了新的5 nm超高精度激光光刻方法 苏州纳米所研究生秦亮、黄源清和物理科学学院夏峰是论文共同第一作者 张子昕和刘前是论文的通讯作者 根据新媒体的评论，5纳米光刻的新技术已经突破，之后，如果设备制造和制造商再次突破，将来5纳米直雕技术可能会很好地应用于生产。 真的吗？ 论文通信作者刘前根据《财经》于12月2日自媒体发表的文章，于去年7月在中国科学院的官网上发表。 苏州联合国家纳米中心在《纳米快报》( nano letters )中介绍了“利用超分辨率激光光刻技术制造5纳米间隙电极和阵列”(5nmnanogapelectrodesandarraysbyasuper-resolutionla 这个消息引起了外部沸腾，有些媒体称“突破asml垄断”、“中国核心取得了很大进展”、“中国可以在没有euv光刻机的情况下制造5纳米工艺的芯片”。 但是，这篇论文的通信作者、中国科学院研究员、博士生导师刘前日前表示，外部发生了误读。 这种新型5纳米技术和极紫外光刻技术是两回事，极紫外光刻技术的处理第一是光源波长的问题，中国科学院开发的5纳米超高精度激光光刻加工方法的第一用途是制作光掩模，光掩模是集成电路的光刻 现在国内制造的掩模模板主要是中低端，装备材料和技术大多来自海外 如果超高精度激光光刻技术能够用于高精度掩模板的制造，则可以期待我国掩模板的制造水平的提高，对以往的光刻机芯片的线宽缩小也非常有益 这项技术在知识产权上完全自主，价格比现在低，可能有产业化的前景 但是，即使该技术被商业化，为了突破荷兰asml (阿斯玛) ( nasdaq:asml )在光刻机中的垄断，需要突破透镜的数值孔径、光源的波长等很多核心技术 另外，极紫外光雕刻机不仅有asml的一项工作，还有近90%的核心部件来自世界不同的公司，asml通过收购贯穿上游产业链，目前一个国家无法独立完成光刻机的制造。 中国是一国之力，在短期内突破asml在极紫外光刻技术中的垄断几乎是不可能的事件 对国内制作5nm芯片能力的误读只是把双刃剑的故事给迄今为止沸腾的媒体、业界人士、读者们注入了很大的冷水，正如博士生导师刘前所说，asml制造的极紫外光雕刻机在2007年100%时美国的计算光刻 年100%收购美国曙光光源设备企业西盟科技。 年100%收购中国台湾电子束检测设备企业汉微科。 年收购光学透镜集团企业德国卡尔蔡司24.90%的股份年收购荷兰电子束光刻机企业mapper等操作完成，光靠一国之力是前所未有的困难！ 但是，冷静细微地分解后，其实，从这次中国中国科学院突破超分辨率激光光刻制造出5纳米高精度掩模技术的消息中传出的乌龙的欢呼声其实是一把双刃剑。 如果不从乐观的立场来看，海外5nm芯片制造设备的垄断依然存在，100%国产化的路还很远，我们不能太快高兴。 另一方面，如果乐观地分解，至少我们在5nm相关的光刻机行业中突破了技术，更进一步，可以证明在这个行业的发言权又增加了一定的比例。 “不能一下子吃胖子”“罗马城不是一天建成的”，只要踏入当地，在5g迅速发展的时代就能制造100%国产的芯片。